الفرق بين الانتشار وزرع الأيونات | زرع الأيونات مقابل الانتشار

الانتشار مقابل زرع الأيونات < الفرق بين الانتشار وزرع أيون يمكن أن يفهم بمجرد فهم ما نشر وغرس أيون. أولا وقبل كل شيء، تجدر الإشارة إلى أن نشر وغرس أيون هما المصطلحات المتعلقة أشباه الموصلات. وهي التقنيات المستخدمة لإدخال ذرات دوبانت في أشباه الموصلات. هذه المقالة هي حول العمليتين، والاختلافات الرئيسية، والمزايا، وعيوب.

ما هو الانتشار؟

الانتشار هو واحد من التقنيات الرئيسية المستخدمة لإدخال الشوائب في أشباه الموصلات. هذه الطريقة تأخذ في الاعتبار الحركة من دوبانت على نطاق الذري، وأساسا، تحدث العملية نتيجة للتدرج التركيز. وتنفذ عملية الانتشار في أنظمة تسمى "

أفران منتشرة ". أنها مكلفة إلى حد ما ودقيقة جدا. هناك

ثلاثة مصادر رئيسية للدوبانت : الغازية والسائلة والمواد الصلبة و المصادر الغازية هي الأكثر استخداما على نطاق واسع في هذه التقنية (مصادر موثوقة ومريحة: بف < 3 ، ف ₃ ، آش ₃ ). في هذه العملية، يتفاعل الغاز المصدر مع الأكسجين على سطح رقاقة مما أدى إلى أكسيد دوبانت. بعد ذلك، فإنه ينشر في السيليكون، وتشكيل تركيز دوبانت موحد عبر السطح. _{مصادر سائلة} متوفرة في شكلين: بوبلرز وتدور على دوبانت. البوبلرات تحويل السائل إلى بخار للرد مع الأكسجين ثم لتشكيل أكسيد دوبانت على سطح رقاقة. تدور على دوبانتس هي حلول تجفيف شكل مخدر شافي 2 طبقات. _{مصادر صلبة} تشمل شكلين: قرص أو شكل حبيبي وأقراص أو شكل رقاقة. أقراص نيتريد البورون (بن) هي الأكثر شيوعا مصدر الصلبة التي يمكن أن تتأكسد في 750 - 1100 0 C.

نشر بسيط للمادة (الأزرق) بسبب التدرج تركيز عبر غشاء شبه نفاذية (الوردي).

ما هو زرع أيون؟

زرع أيون هو تقنية أخرى لإدخال الشوائب (دوبانتس) لأشباه الموصلات. وهي تقنية درجات الحرارة المنخفضة. ويعتبر هذا بديلا لانتشار درجات الحرارة العالية لإدخال الدوبانت. في هذه العملية، ويهدف شعاع من الأيونات نشطة للغاية في أشباه الموصلات المستهدفة. اصطدام الأيونات مع ذرات شعرية يؤدي إلى تشويه هيكل الكريستال. الخطوة التالية هي الصلب، الذي يتبع لتصحيح مشكلة التشويه.

بعض مزايا تقنية زرع أيون تشمل التحكم الدقيق في عمق العمق والجرعة، وأقل حساسية لإجراءات تنظيف السطح، ولها مجموعة واسعة من المواد قناع مثل مقاومة للضوء، بولي سي، أكاسيد ، والمعادن.

ما هو الفرق بين الانتشار وزرع أيون؟

• في الانتشار، تنتشر الجسيمات من خلال حركة عشوائية من مناطق تركيز أعلى إلى مناطق أقل تركيزا. زرع أيون ينطوي على قصف الركيزة مع الأيونات، وتسارع إلى سرعات أعلى.

•

مزايا:

نشر يخلق أي ضرر و دفعة التصنيع هو ممكن أيضا. زرع أيون هو عملية درجات الحرارة المنخفضة. انها تسمح لك للسيطرة على جرعة دقيقة وعمق. زرع أيون ممكن أيضا من خلال طبقات رقيقة من الأكاسيد والنترات. ويشمل أيضا أوقات عملية قصيرة. • العيوب:

يقتصر الانتشار على قابلية الذوبان الصلبة وهي عملية ذات درجة حرارة عالية. تقاطعات الضحلة والجرعات المنخفضة صعبة عملية الانتشار. أيون زرع ينطوي على تكلفة إعلانية لعملية الصلب. • الانتشار له صورة مشعة متناحية في حين أن زرع الأيونات لديه ملف دوائل خواص متباين الخواص. ملخص:

زرع الأيونات مقابل الانتشار

الانتشار وزرع الأيونات طريقتان لإدخال الشوائب إلى أشباه الموصلات (السيليكون - سي) للسيطرة على نوع الأغلبية من الناقل ومقاومة الطبقات. في الانتشار، تتحرك الذرات الدوبانت من السطح إلى السيليكون عن طريق التدرج التركيز. ومن خلال آليات النشر أو الخلالي. في زرع أيون، تضاف الذرات دوبانت بقوة إلى السيليكون عن طريق حقن شعاع أيون حيوية. الانتشار هو عملية ارتفاع درجة الحرارة في حين زرع أيون هو عملية درجة حرارة منخفضة. يمكن السيطرة على تركيز دوبانت وعمق تقاطع في زرع أيون، ولكن لا يمكن السيطرة عليها في عملية الانتشار. الانتشار لديه ملف دوارة خواص متناحية في حين أن زرع أيون لديه التشكيل الجانبي الخواص متباين الخواص.

صور مجاملة:

نشر بسيط للمادة (الأزرق) بسبب التدرج التركيز عبر غشاء شبه نفاذية (وردي) بواسطة Elizabeth2424 (سيسي بي-سا 3. 0)